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從偏光顯微鏡下的樣品表面獲得的資料多

發(fā)布人:shpuda發(fā)布時(shí)間:2014/1/20

    它可以從樣品表面觀(guān)察形貌獲得多方面資料。在掃描電子偏光顯微鏡中,因為可以利用入射電子和樣品相互作用所產(chǎn)生的各種訊號來(lái)構成掃描電子像。因此,借助于成像訊號本身的性質(zhì)和訊號處理方法,既可獲得“無(wú)陰影照明性質(zhì)”的電子像,即二次電子像,也可以獲得“帶陰影照明性質(zhì)”的電子像,即背散射電子像。


    既可采用從兩對稱(chēng)方向所接收背散射電子訊號相加的辦法獲得單純表征元素分布的成分像,也可以采用從兩對稱(chēng)方向所接收背散射電子訊號相減的方法獲得單純表征高低不平的凹凸像,既可以獲得強調表觀(guān)部分的電子像,發(fā)射型電子像,也可以獲得強調深坑部分的電子像,吸收電子像。


    由此可見(jiàn),采用掃描電子偏光顯微鏡可以從樣品的表面形貌獲得多方面的資料。

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