顯微鏡的重要光學(xué)技術(shù)參數
在鏡檢時(shí),人們總是希望能清晰而明亮的理想圖象,這就需要顯微鏡的各項光學(xué)技術(shù)參數達到一定的標準,并且要求在使用時(shí),必須根據鏡檢的目的和實(shí)際情況來(lái)協(xié)調各參數的關(guān)系。只有這樣,才能充分發(fā)揮顯微鏡應有的性能,得到滿(mǎn)意的鏡檢效果。
顯微鏡的光學(xué)技術(shù)參數包括:數值孔徑、分辨率、放大率、焦深、視場(chǎng)寬度、覆蓋差、工作距離等等。這些參數并不都是越高越好,它們之間是相互聯(lián)系又相互制約的,在使用時(shí),應根據鏡檢的目的和實(shí)際情況來(lái)協(xié)調參數間的關(guān)系,但應以保證分辨率為準。
1. 數值孔徑
數值孔徑簡(jiǎn)寫(xiě)NA,數值孔徑是物鏡和聚光鏡的主要技術(shù)參數,是判斷兩者(尤其對物鏡而言)性能高低的重要標志。其數值的大小,分別標刻在物鏡和聚光鏡的外殼上。
數值孔徑(NA)是物鏡前透鏡與被檢物體之間介質(zhì)的折射率(n)和孔徑角(u)半數的正弦之乘積。用公式表示如下:NA=nsinu/2
孔徑角又稱(chēng)"鏡口角",是物鏡光軸上的物體點(diǎn)與物鏡前透鏡的有效直徑所形成的角度??讖浇窃酱?,進(jìn)入物鏡的光通亮就越大,它與物鏡的有效直徑成正比,與焦點(diǎn)的距離成反比。
顯微鏡觀(guān)察時(shí),若想增大NA值,孔徑角是無(wú)法增大的,唯一的辦法是增大介質(zhì)的折射率n值?;谶@一原理,就產(chǎn)生了水浸物鏡和油浸物鏡,因介質(zhì)的折射率n值大于1,NA值就能大于1。
數值孔徑最大值為1.4,這個(gè)數值在理論上和技術(shù)上都達到了極限。目前,有用折射率高的溴萘作介質(zhì),溴萘的折射率為1.66,所以NA值可大于1.4。
這里必須指出,為了充分發(fā)揮物鏡數值孔徑的作用,在觀(guān)察時(shí),聚光鏡的NA值應等于或略大于物鏡的NA值。
數值孔徑與其他技術(shù)參數有著(zhù)密切的關(guān)系,它幾乎決定和影響著(zhù)其他各項技術(shù)參數。它與分辨率成正比,與放大率成正比,與焦深成反比,NA值增大,視場(chǎng)寬度與工作距離都會(huì )相應地變小。
2. 分辨率
顯微鏡的分辨率是指能被顯微鏡清晰區分的兩個(gè)物點(diǎn)的最小間距,又稱(chēng)"鑒別率"。其計算公式是σ=λ/NA
式中σ為最小分辨距離;λ為光線(xiàn)的波長(cháng);NA為物鏡的數值孔徑??梢?jiàn)物鏡的分辨率是由物鏡的NA值與照明光源的波長(cháng)兩個(gè)因素決定。NA值越大,照明光線(xiàn)波長(cháng)越短,則σ值越小,分辨率就越高。
要提高分辨率,即減小σ值,可采取以下措施
(1) 降低波長(cháng)λ值,使用短波長(cháng)光源。
(2) 增大介質(zhì)n值以提高NA值(NA=nsinu/2)。
(3) 增大孔徑角u值以提高NA值。
(4) 增加明暗反差。
3. 放大率和有效放大率
由于經(jīng)過(guò)物鏡和目鏡的兩次放大,所以顯微鏡總的放大率Γ應該是物鏡放大率β和目鏡放大率Γ1的乘積:
Γ=βΓ1
顯然,和放大鏡相比,顯微鏡可以具有高得多的放大率,并且通過(guò)調換不同放大率的物鏡和目鏡,能夠方便地改變顯微鏡的放大率。
放大率也是顯微鏡的重要參數,但也不能盲目相信放大率越高越好。顯微鏡放大倍率的極限即有效放大倍率。
分辨率和放大倍率是兩個(gè)不同的但又互有聯(lián)系的概念。有關(guān)系式:500NA<Γ<1000NA
當選用的物鏡數值孔徑不夠大,即分辨率不夠高時(shí),顯微鏡不能分清物體的微細結構,此時(shí)即使過(guò)度地增大放大倍率,得到的也只能是一個(gè)輪廓雖大但細節不清的圖像,稱(chēng)為無(wú)效放大倍率。反之如果分辨率已滿(mǎn)足要求而放大倍率不足,則顯微鏡雖已具備分辨的能力,但因圖像太小而仍然不能被人眼清晰視見(jiàn)。所以為了充分發(fā)揮顯微鏡的分辨能力,應使數值孔徑與顯微鏡總放大倍率合理匹配。
4. 焦深
焦深為焦點(diǎn)深度的簡(jiǎn)稱(chēng),即在使用顯微鏡時(shí),當焦點(diǎn)對準某一物體時(shí),不僅位于該點(diǎn)平面上的各點(diǎn)都可以看清楚,而且在此平面的上下一定厚度內,也能看得清楚,這個(gè)清楚部分的厚度就是焦深。焦深大, 可以看到被檢物體的全層,而焦深小,則只能看到被檢物體的一薄層,焦深與其他技術(shù)參數有以下關(guān)系:
(1) 焦深與總放大倍數及物鏡的數值孔徑成反比。
(2) 焦深大,分辨率降低。
由于低倍物鏡的景深較大,所以在低倍物鏡照相時(shí)造成困難。在顯微照相時(shí)將詳細介紹。
5. 視場(chǎng)直徑(Field Of View)
觀(guān)察顯微鏡時(shí),所看到的明亮的圓形范圍叫視場(chǎng),它的大小是由目鏡里的視場(chǎng)光闌決定的。
視場(chǎng)直徑也稱(chēng)視場(chǎng)寬度,是指在顯微鏡下看到的圓形視場(chǎng)內所能容納被檢物體的實(shí)際范圍。視場(chǎng)直徑愈大,愈便于觀(guān)察。
有公式 F=FN/β
式中F: 視場(chǎng)直徑,FN:視場(chǎng)數(Field Number, 簡(jiǎn)寫(xiě)為FN,標刻在目鏡的鏡筒外側),β:物鏡放大率。
由公式可看出:
(1) 視場(chǎng)直徑與視場(chǎng)數成正比。
(2) 增大物鏡的倍數,則視場(chǎng)直徑減小。因此,若在低倍鏡下可以看到被檢物體的全貌,而換成高倍物鏡,就只能看到被檢物體的很小一部份。
6. 覆蓋差
顯微鏡的光學(xué)系統也包括蓋玻片在內。由于蓋玻片的厚度不標準,光線(xiàn)從蓋玻片進(jìn)入空氣產(chǎn)生折射后的光路發(fā)生了改變,從而產(chǎn)生了相差,這就是覆蓋差。覆蓋差的產(chǎn)生影響了顯微鏡的成響質(zhì)量。
國際上規定,蓋玻片的標準厚度為0.17mm,許可范圍在0.16-0.18mm,在物鏡的制造上已將此厚度范圍的相差計算在內。物鏡外殼上標的0.17,即表明該物鏡所要求的蓋玻片的厚度。
7. 工作距離WD
工作距離也叫物距,即指物鏡前透鏡的表面到被檢物體之間的距離。鏡檢時(shí),被檢物體應處在物鏡的一倍至二倍焦距之間。因此,它與焦距是兩個(gè)概念,平時(shí)習慣所說(shuō)的調焦,實(shí)際上是調節工作距離。
在物鏡數值孔徑一定的情況下,工作距離短孔徑角則大。
數值孔徑大的高倍物鏡,其工作距離小。
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