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顯微鏡同軸光可以分內同軸和外同軸：內同軸是指光束通過(guò)物鏡內的鏡片落射到被觀(guān)測物體上，外同軸是指圍繞在物鏡外側的一圈光束，落射到被觀(guān)測物體上。通常內同軸是點(diǎn)光，外同軸是環(huán)型光。同軸光的主要特點(diǎn)是光照角度和光學(xué)成相角度小，光線(xiàn)反射就小，觀(guān)察物體也就更清晰，通常同軸光主要運用在透明觀(guān)測物體上面，比如（晶元、LCD液晶屏幕、CCD鏡頭）我們使用常規的側光源照明是不能看到透明物體上的劃痕還有污點(diǎn)，因為側光的反光角度不在成相角度上，所以很難分辨劃痕或者污點(diǎn)。外同軸光也會(huì )多少存在這個(gè)問(wèn)題，因為它的角度和成相角度也不是吻合的，最好的解決方法就是內同軸光，可以清晰的分辨出劃痕還有污點(diǎn)。