產(chǎn)品用途
MX-12半導體檢測顯微鏡采用無(wú)限遠色差校正光學(xué)系統，具有大視野、成像質(zhì)量高、功能擴展性強(明場(chǎng)/斜照明/偏振光/DIC觀(guān)察)、大平臺等特點(diǎn)；同時(shí)配有長(cháng)工作距半復消色差物鏡和可快速和慢速移動(dòng)的大行程載物臺，最大支持300mm晶圓及17英寸液晶面板的檢查，含4、6、8、12英寸多種轉盤(pán)，可適用不同尺寸的晶圓檢查、液晶基板或其它平面顯示器及各種工業(yè)器件的檢驗。
產(chǎn)品特點(diǎn)
? 仰角可調觀(guān)察筒：0-35°觀(guān)察角度可調，適合不同身高的用戶(hù)，降低了對工作環(huán)境的要求，讓不同的使用者都能找到最佳的觀(guān)察角度，減輕了長(cháng)時(shí)間工作帶來(lái)的不適于疲勞，大幅度提高工作效率。
? 全新離合驅動(dòng)式載物臺：MX12采用離合式手柄，用戶(hù)按下離合扳手就可靈活移動(dòng)平臺，無(wú)需長(cháng)時(shí)間捏緊手柄；按下離合按鈕，取消快速移動(dòng)，避免長(cháng)時(shí)間操作出現手麻現象，并加快觀(guān)察速度。MX12引入精密導軌傳動(dòng)機構，移動(dòng)更輕更順暢，產(chǎn)品更加穩定可靠。
? 防震支架結構設計: 工業(yè)檢測級顯微鏡機身由六端支架支撐，低重心、高穩定性全金屬機架，保證了系統的抗震能力與成像穩定性。其前置低手位粗微調同軸調焦機構，內置100-240V寬電壓變壓器，可適應不同地區的電網(wǎng)電壓。底座內部設計有風(fēng)循環(huán)散熱系統，長(cháng)時(shí)間使用也不會(huì )使機架過(guò)熱
? 安全高速電動(dòng)物鏡轉換器: 設有前進(jìn)、后退兩檔切換模式，可快速、精確定位到所需要的觀(guān)察倍率，重復定位精度高，有效提升了轉換器的使用壽命。
產(chǎn)品規格
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規格參數
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MX-12
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光路系統
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無(wú)限遠色差校正光學(xué)系統
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●
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觀(guān)察方式
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明場(chǎng)/暗場(chǎng)/偏光/DIC觀(guān)察模式(選配)
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○
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觀(guān)察頭
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鉸鏈三通觀(guān)察筒，0-35°傾斜可調，瞳距范圍：50mm～76mm
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●
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正像,視度調節±5°；兩檔分光比R:T=100:0或0:100
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●
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目鏡
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高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡WF10X(Φ25mm)，視度可調/可帶十字分劃板
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●
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無(wú)限遠長(cháng)距離明暗場(chǎng)半復消金相物鏡
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倍率
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數值孔徑(N.A.)
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工作距離(W.D.)
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●
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5×DIC
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0.15
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13.50mm
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10×DIC
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0.3
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9.00mm
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20×DIC
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0.4
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8.50mm
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50×
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0.55
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7.50mm
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100×(選配)
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0.8
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2.10mm
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○
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放大倍數
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50×-500×
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●
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電動(dòng)物鏡轉輪(DIC)
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明暗場(chǎng)六孔電動(dòng)轉換器(帶DIC插槽)。設有前進(jìn)、后退兩檔切換模式，可快速、精確定位到所需要的觀(guān)察倍率，重復定位精度高
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●
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機架
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反射式機架：前置低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程35mm，微調精度0.001mm。帶有防止下滑的調節松緊裝置和隨機上限位裝置。內置100-240V寬電壓系統。物鏡和孔徑光闌采用全新的電動(dòng)控制系統，其操作按鍵位于儀器正前方
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●
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載物臺
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右手位14*12英寸三層機械移動(dòng)平臺，低手位X、Y方向同軸調節
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●
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平臺面積710mmX420mm，移動(dòng)范圍：356mmX305mm，帶離合器手柄，可用于全行程范圍內的快速移動(dòng)；反射配金屬平臺
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玻璃載物臺板。（透/反射用）
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明暗場(chǎng)裝置
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帶明暗場(chǎng)觀(guān)察切換裝置與明暗場(chǎng)照明切換裝置
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●
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DIC微分干涉
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DIC微分干涉觀(guān)察組件(選配)
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○
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簡(jiǎn)易偏光裝置
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φ30起偏鏡插板（反射用）、360度旋轉式檢偏鏡插板（反射用）
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●
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照明系統
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柯拉照明系統，帶視場(chǎng)光闌與孔徑光闌，中心可調
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●
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100-240V寬電壓,12V/100W鹵素燈，明暗場(chǎng)反射照明器
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12V/100W鹵素燈（PHILIPS 7724）
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數碼成像系統
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高質(zhì)量0.5X
CCD可調焦適配鏡
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●
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Puda 630萬(wàn)USB型進(jìn)口芯片數字顯微鏡攝像機(采用SONY
6.3M/IMX178(C)，1/1.8“ (7.37x4.92)，59@3072 x2048，59@1536x 1024高性能芯片組/
USB3.0高速通訊，高分辨率、精準的色彩還原處理/ Ultra-Fine顏色引擎，確保顏色精準再現)
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Puda ImageView專(zhuān)業(yè)的圖像處理軟件
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可升級配件
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目鏡：10×(分劃)
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○
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注解：●為標配、○為可升級配件
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部分樣品圖片
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