產(chǎn)品用途
MX-8半導體檢測顯微鏡采用無(wú)限遠色差校正光學(xué)系統，具有大視野、成像質(zhì)量高、功能擴展性強(明場(chǎng)/斜照明/偏振光/DIC觀(guān)察)、大平臺等特點(diǎn)；同時(shí)配有長(cháng)工作距半復消色差物鏡和可快速和慢速移動(dòng)的大行程載物臺，最大支持8寸晶圓及液晶面板的檢查，含4、6、8英寸多種轉盤(pán)，可適用不同尺寸的晶圓檢查、液晶基板或其它平面顯示器及各種工業(yè)器件的檢驗。
產(chǎn)品特點(diǎn)
? 多檔分光比觀(guān)察頭設計：采用寬光束成像系統設計，最大觀(guān)察視野，支持25-26.6mm，帶給你全新的大視野體驗。正像，保證樣品的移動(dòng)方向與您通過(guò)目鏡觀(guān)察到的方向一致，是操作更加得心應手。
? 安全、穩重的機架結構設計: 工業(yè)檢測級顯微鏡鏡體，低重心、高剛性、高穩定性金屬機架，保證了系統的抗震能力與成像穩定性。其前置低手位粗微調同軸調焦機構，內置100-240V寬電壓變壓器，可適應不同地區的電網(wǎng)電壓。底座內部設計有風(fēng)循環(huán)散熱系統，長(cháng)時(shí)間使用也不會(huì )使機架過(guò)熱
? 長(cháng)工作距金相物鏡：配置全套專(zhuān)業(yè)半復消色差金相物鏡，采用高透過(guò)率鏡片和先進(jìn)的鍍膜技術(shù)，使整個(gè)視場(chǎng)內的成像清晰銳利，色彩自然，明亮舒適。長(cháng)工作距設計，可有效避免用戶(hù)在切換時(shí)物鏡與樣品發(fā)生碰撞。50X物鏡的有效工作距離7.9mm，100X物鏡的有效工作距離也達到了2.1mm，更有20X超長(cháng)工作距金相物鏡，大幅拓展了MX機型的應用領(lǐng)域。同步設計了全套明暗場(chǎng)兩用物鏡，暗場(chǎng)照明亮度比傳統暗場(chǎng)物鏡提高2倍以上。
? 高性能物鏡轉換器: MX8轉換器采用精密軸承設計，轉動(dòng)手感輕巧舒適，重復定位精度高，物鏡轉換后的同心度也得到較好的控制，根據需求可配置不同孔位的轉換器
產(chǎn)品規格
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規格參數
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MX-8
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光路系統
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無(wú)限遠色差校正光學(xué)系統
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●
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觀(guān)察方式
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明場(chǎng)/暗場(chǎng)/偏光/DIC觀(guān)察模式(選配)
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○
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觀(guān)察頭
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鉸鏈三通觀(guān)察筒，30°傾斜；瞳距范圍：50mm～76mm
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●
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正像,視度調節±5°；兩檔分光比R:T=100:0或0:100
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●
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目鏡
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高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡WF10X(Φ25mm)/可帶十字分劃板
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●
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無(wú)限遠長(cháng)工作距明暗場(chǎng)半復消色差金相DIC物鏡
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倍率
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數值孔徑(N.A.)
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工作距離(W.D.)
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●
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5×-DIC
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0.15
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13.5mm
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10×-DIC
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0.3
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9.00mm
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20×-DIC
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0.4
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8.50mm
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50×
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0.55
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7.50mm
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100×(選配)
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0.8
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2.10mm
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○
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放大倍數
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50×-500×
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●
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物鏡轉輪(DIC)
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內定位5孔明暗場(chǎng)轉換器(帶DIC插槽)
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●
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載物臺
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右手位 8英寸三層機械移動(dòng)平臺，低手位X、Y方向同軸調節
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●
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平臺面積525mmX330mm，移動(dòng)范圍：210mmX210mm；帶離合器手柄，可用于全行程范圍內的快速移動(dòng)
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玻璃載物臺板
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調焦機構
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反射式機架：前置低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程33mm，微調精度0.001mm。帶有防止下滑的調節松緊裝置和隨機上限位裝置。內置100-240V寬電壓系統，帶光亮度設定按鈕與復位按鈕
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●
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DIC微分干涉
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DIC微分干涉觀(guān)察組件(選配)
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○
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簡(jiǎn)易偏光裝置
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φ30起偏鏡插板（反射用）、360度旋轉式檢偏鏡插板（反射用）
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●
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明暗場(chǎng)裝置
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帶明暗場(chǎng)觀(guān)察切換裝置與明暗場(chǎng)照明切換裝置
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●
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反射照明系統
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柯拉照明系統，帶視場(chǎng)光闌與孔徑光闌，中心可調
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●
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帶斜射照明裝置
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100-240V寬電壓,12V/100W鹵素燈，明暗場(chǎng)反射照明器
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透射照明系統
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內置5W暖色LED透射光照明系統，上下光可獨立控制
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●
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數碼成像系統
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高質(zhì)量0.5X
CCD可調焦適配鏡
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●
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Puda2000萬(wàn)制冷型進(jìn)口芯片數字顯微鏡攝像機(芯片型號：Sony
IMX183 芯片大?。?”（13.056 * 8.755 mm）像素大?。?.4 * 2.4 μm最大分辨率：2000萬(wàn)像素幀速：5fps@5440 *
3648 10fps@4096 * 2160 15fps@2736*1824 曝光時(shí)間：0.06ms-1hG光靈敏度：462mv with 1/30s/
USB3.0高速通訊，高分辨率、精準的色彩還原處理/
Ultra-Fine顏色引擎，確保顏色精準再現/雙級半導體深度制冷系統，低于環(huán)境溫度50度以下，精準可控))
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Puda
ImageView專(zhuān)業(yè)的圖像處理軟件（專(zhuān)業(yè)的圖像軟件(圖像采集/影像輸入/相機控制/視頻操作/圖像處理/圖像測量/圖像融合(景深擴展)/圖像拼接/清晰度對焦因子/動(dòng)態(tài)圖像灰度值定標(可保證拍攝圖像明暗程度的一致性和連貫性)
/插件功能)）
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可升級配件
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目鏡：10×(分劃)
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○
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注解：●為標配、○為可升級配件
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樣品實(shí)圖示例：
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