產(chǎn)品用途
MX-4半導體檢測顯微鏡采用無(wú)限遠色差校正光學(xué)系統，具有大視野、成像質(zhì)量高、功能擴展性強(明場(chǎng)/斜照明/偏振光/DIC觀(guān)察)、大平臺等特點(diǎn)；同時(shí)配有長(cháng)工作距半復消色差物鏡和可快速和慢速移動(dòng)的大行程載物臺，尤其適合半導體掩模板、液晶基板或其它平面顯示器及各種工業(yè)器件的檢驗。
產(chǎn)品特點(diǎn)
? 安全、穩重的機架結構設計: 工業(yè)檢測級顯微鏡鏡體，低重心、高剛性、高穩定性金屬機架，保證了系統的抗震能力與成像穩定性。其前置低手位粗微調同軸調焦機構，內置100-240V寬電壓變壓器，可適應不同地區的電網(wǎng)電壓。底座內部設計有風(fēng)循環(huán)散熱系統，長(cháng)時(shí)間使用也不會(huì )使機架過(guò)熱
? 反射照明器: 單顆大功率5W白色LED照明，帶斜照明機構。切換至斜照明時(shí)，可以使物體表面不同材質(zhì)部分呈現立體圖案，增加觀(guān)察的對比度與視覺(jué)效果
? 高性能物鏡轉換器: MX4R轉換器采用精密軸承設計，轉動(dòng)手感輕巧舒適，重復定位精度高，物鏡轉換后的同心度也得到較好的控制，根據需求可配置不同孔位的轉換器
產(chǎn)品規格
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規格參數
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MX-4
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光路系統
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無(wú)限遠色差校正光學(xué)系統
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●
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觀(guān)察頭
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鉸鏈三通觀(guān)察筒，30°傾斜，360°旋轉；瞳距范圍：50mm～75mm
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●
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正像,視度調節±5°；兩檔分光比R:T=100:0或50:50
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●
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目鏡
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高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡WF10X(Φ22mm)
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●
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無(wú)限遠長(cháng)工作距平場(chǎng)消
色差金相物鏡
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倍率
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數值孔徑(N.A.)
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工作距離(W.D.)
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●
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5×-DIC
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0.15
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10.80mm
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10×-DIC
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0.3
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12.20mm
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20×-DIC
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0.45
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4.00mm
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無(wú)限遠長(cháng)工作距平場(chǎng)半復消金相物鏡
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50×
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0.55
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7.90mm
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100×(選配)
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0.8
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2.10mm
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○
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放大倍數
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50×-500×
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●
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物鏡轉輪(DIC)
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內定位5孔轉換器(帶DIC插槽)
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●
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載物臺
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6英寸三層機械移動(dòng)平臺，低手位X、Y方向同軸調節
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●
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平臺面積445mmX240mm，反射照明移動(dòng)范圍：158mmX158mm；透射照明移動(dòng)范圍:100mmX100mm，帶離合器手柄，可用于全行程范圍內的快速移動(dòng)
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玻璃載物臺板。（透/反射用）
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調焦機構
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粗、微動(dòng)同軸低手位調焦機構、帶鎖緊和限位裝置
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●
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微動(dòng)格值0.001mm、粗調行程30mm
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DIC微分干涉
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DIC微分干涉觀(guān)察組件(選配)
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○
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簡(jiǎn)易偏光裝置
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φ30起偏鏡插板（反射用）、360度旋轉式檢偏鏡插板（反射用）
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●
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反射照明系統
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柯拉照明系統，帶視場(chǎng)光闌與孔徑光闌，中心可調
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●
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帶斜射照明裝置
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100-240V寬電壓,單顆大功率5W LED，暖色
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透射照明系統
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內置5W暖色LED透射光照明系統，上下光可獨立控制
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●
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數碼成像系統
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高質(zhì)量0.5X
CCD適配鏡
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●
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Puda 630萬(wàn)USB型進(jìn)口芯片數字顯微鏡攝像機(采用SONY
6.3M/IMX178(C)，1/1.8“ (7.37x4.92)，59@3072 x2048，59@1536x 1024高性能芯片組/
USB3.0高速通訊，高分辨率、精準的色彩還原處理/ Ultra-Fine顏色引擎，確保顏色精準再現)
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Puda ImageView專(zhuān)業(yè)的圖像軟件
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可升級配件
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目鏡：10×(分劃)
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○
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注解：●為標配、○為可升級配件
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